Дефектообразование в gap при лазерной имплантации примесей I и IIІ групп
Вантажиться...
Дата
2000
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
ISSN
E-ISSN
Назва тому
Видавець
Одеський національний університет імені І. І. Мечникова
Анотація
Досліджено вплив лазерної імплантації потужними мілісекундними імпульсами випромінювання
N d -лазера на структуру і механічні властивості GaP. Показано па,чіння мікротвердості
лазерно- імплантованих ніарів пов’язане з випаровуванням ф о сф о р у , і розповсюдження
порушеної області з підвищеною г>'стиною дислокацій на глибину до 160 мкм. Отримані результати
інтерпретуються у рамках деформаційно - теплових механізмів.
Исследовано влияние лазерной имплантации мощными миллисекундными импульсами излучения N d-лазера на структуру и механические свойства GaP. Показано падение микротвердости лазерно- имплантированных слоев связанное с испарением ф о сф о р а , и распр остр анение нарушенной области с повышенной плотностью дислокаций на глубину до 160 мкм. Полученные результаты интерпретируются в рамках деформационо- тепловых механизмов.
The influence o f implantation o f impurities with powerful millisecond pulses o f the Nd-laser on GaP structure and mechanical properties is investigated. The microhardness diminution o f the implanted layers attributed to phosphorus evaporation and widening o f the region with increased dislocation density over 160 microns depth is shown. The results are explained in terms o f the thermaldeformation mechanisms.
Исследовано влияние лазерной имплантации мощными миллисекундными импульсами излучения N d-лазера на структуру и механические свойства GaP. Показано падение микротвердости лазерно- имплантированных слоев связанное с испарением ф о сф о р а , и распр остр анение нарушенной области с повышенной плотностью дислокаций на глубину до 160 мкм. Полученные результаты интерпретируются в рамках деформационо- тепловых механизмов.
The influence o f implantation o f impurities with powerful millisecond pulses o f the Nd-laser on GaP structure and mechanical properties is investigated. The microhardness diminution o f the implanted layers attributed to phosphorus evaporation and widening o f the region with increased dislocation density over 160 microns depth is shown. The results are explained in terms o f the thermaldeformation mechanisms.
Опис
Ключові слова
Дефектообразование в gap, лазерная имплантация примесей I и IIІ групп
Бібліографічний опис
Вісник Одеського національного університету = Odesa National University Herald