Дефектообразование в gap при лазерной имплантации примесей I и IIІ групп

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЕвтушенко, Нина Гермоновна
dc.contributor.authorСтукалов, Сергей Анатольевич
dc.date.accessioned2018-02-16T09:22:25Z
dc.date.available2018-02-16T09:22:25Z
dc.date.issued2000
dc.description.abstractДосліджено вплив лазерної імплантації потужними мілісекундними імпульсами випромінювання N d -лазера на структуру і механічні властивості GaP. Показано па,чіння мікротвердості лазерно- імплантованих ніарів пов’язане з випаровуванням ф о сф о р у , і розповсюдження порушеної області з підвищеною г>'стиною дислокацій на глибину до 160 мкм. Отримані результати інтерпретуються у рамках деформаційно - теплових механізмів.uk
dc.description.abstractИсследовано влияние лазерной имплантации мощными миллисекундными импульсами излучения N d-лазера на структуру и механические свойства GaP. Показано падение микротвердости лазерно- имплантированных слоев связанное с испарением ф о сф о р а , и распр остр анение нарушенной области с повышенной плотностью дислокаций на глубину до 160 мкм. Полученные результаты интерпретируются в рамках деформационо- тепловых механизмов.uk
dc.description.abstractThe influence o f implantation o f impurities with powerful millisecond pulses o f the Nd-laser on GaP structure and mechanical properties is investigated. The microhardness diminution o f the implanted layers attributed to phosphorus evaporation and widening o f the region with increased dislocation density over 160 microns depth is shown. The results are explained in terms o f the thermaldeformation mechanisms.uk
dc.identifierУДК 621.315.592
dc.identifier.citationВісник Одеського національного університету = Odesa National University Heralduk
dc.identifier.urihttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/12838
dc.language.isoruuk
dc.publisherОдеський національний університет імені І. І. Мечниковаuk
dc.relation.ispartofseriesФізико-математичні науки;Т. 5, вип. 3.
dc.subjectДефектообразование в gapuk
dc.subjectлазерная имплантация примесей I и IIІ группuk
dc.titleДефектообразование в gap при лазерной имплантации примесей I и IIІ группuk
dc.typeArticleuk
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
196-201-1.pdf
Розмір:
282.6 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити
Зібрання
Дослiдження в математицi i механiцi