Применение кремниевых подложек в электронном микроанализе малых частиц при скользящих углах наблюдения

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorБекшаев, Александр Янович
dc.contributor.authorМолчанюк, В. И.
dc.contributor.authorБекшаєв, Олександр Янович
dc.contributor.authorBekshaiev, Oleksandr Yа.
dc.date.accessioned2018-09-05T11:02:22Z
dc.date.available2018-09-05T11:02:22Z
dc.date.issued2003
dc.description.abstractТеоретически анализируются возможности исследования элементного состава и структуры кремнийсодержащих частиц с размерами от нескольких десятков до нескольких сотен нанометров. Показано, что несмотря на присутствие сильного фонового излучения, кремниевые подложки могут применяться при электронном микроанализе таких частиц. Интерференционная картина, возникающая в угловой зависимости характеристической рентгеновской люминесценции при скользящих углах наблюдения (< 15 мрад) содержит ценную информацию как о химическом составе, т ак и о деталях структуры частиц в диапазоне размеров от 20 до 200 длин волн. Ряд параметров интерференционной картины обладает относительной независимостью от вклада подложки и позволяет устранить его вредное влияние. Предложены процедуры математической обработки результатов измерения угловой зависимости детектируемого сигнала, которые позволяют значительно повысить точность определения состава частиц в условиях предельно слабых полезных сигналов. Найдены характеристики интерференционной картины, не зависящие от «шума», вызванного подложкой, и предложены алгоритмы его подавления. В частности, для очень малых частиц, т. е. тогда, когда полезный сигнал особенно слаб, предложенная в работе процедура «вычитания фона» позволяет радикально уменьшить шумовой вклад подложки. Описан формализм приближенного восстановления структуры неоднородных частиц, не требующий формального решения обратной задачи и основанный на Фурье-анализе интерференционной картины. Возможные применения предложенных процедур иллюстрируются с помощью численных моделей.uk
dc.identifierУДК 621. 315:539. 2
dc.identifier.citationФотоэлектроника = Photoelectronicsuk
dc.identifier.urihttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/18611
dc.language.isoruuk
dc.publisherОдесский национальный университет имени И. И. Мечниковаuk
dc.relation.ispartofseries;Вип. 12
dc.subjectкремнийсодержащие частицыuk
dc.subjectмикроанализuk
dc.subjectугловя зависимость характеристической рентгеновской люминесценцииuk
dc.titleПрименение кремниевых подложек в электронном микроанализе малых частиц при скользящих углах наблюденияuk
dc.typeArticleuk
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
16-19.pdf
Розмір:
258.5 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити
Зібрання
Photoelectronics