Применение кремниевых подложек в электронном микроанализе малых частиц при скользящих углах наблюдения
Вантажиться...
Файли
Дата
2003
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
ISSN
E-ISSN
Назва тому
Видавець
Одесский национальный университет имени И. И. Мечникова
Анотація
Теоретически анализируются возможности исследования элементного состава и
структуры кремнийсодержащих частиц с размерами от нескольких десятков до нескольких
сотен нанометров. Показано, что несмотря на присутствие сильного фонового излучения,
кремниевые подложки могут применяться при электронном микроанализе таких
частиц. Интерференционная картина, возникающая в угловой зависимости характеристической
рентгеновской люминесценции при скользящих углах наблюдения (< 15 мрад)
содержит ценную информацию как о химическом составе, т ак и о деталях структуры
частиц в диапазоне размеров от 20 до 200 длин волн. Ряд параметров интерференционной
картины обладает относительной независимостью от вклада подложки и позволяет
устранить его вредное влияние.
Предложены процедуры математической обработки результатов измерения угловой
зависимости детектируемого сигнала, которые позволяют значительно повысить точность
определения состава частиц в условиях предельно слабых полезных сигналов. Найдены
характеристики интерференционной картины, не зависящие от «шума», вызванного подложкой,
и предложены алгоритмы его подавления. В частности, для очень малых частиц,
т. е. тогда, когда полезный сигнал особенно слаб, предложенная в работе процедура
«вычитания фона» позволяет радикально уменьшить шумовой вклад подложки.
Описан формализм приближенного восстановления структуры неоднородных частиц,
не требующий формального решения обратной задачи и основанный на Фурье-анализе
интерференционной картины. Возможные применения предложенных процедур иллюстрируются
с помощью численных моделей.
Опис
Ключові слова
кремнийсодержащие частицы, микроанализ, угловя зависимость характеристической рентгеновской люминесценции
Бібліографічний опис
Фотоэлектроника = Photoelectronics