Применение кремниевых подложек в электронном микроанализе малых частиц при скользящих углах наблюдения

Вантажиться...
Ескіз
Дата
2003
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
Номер ISSN
Номер E-ISSN
Назва тому
Видавець
Одесский национальный университет имени И. И. Мечникова
Анотація
Теоретически анализируются возможности исследования элементного состава и структуры кремнийсодержащих частиц с размерами от нескольких десятков до нескольких сотен нанометров. Показано, что несмотря на присутствие сильного фонового излучения, кремниевые подложки могут применяться при электронном микроанализе таких частиц. Интерференционная картина, возникающая в угловой зависимости характеристической рентгеновской люминесценции при скользящих углах наблюдения (< 15 мрад) содержит ценную информацию как о химическом составе, т ак и о деталях структуры частиц в диапазоне размеров от 20 до 200 длин волн. Ряд параметров интерференционной картины обладает относительной независимостью от вклада подложки и позволяет устранить его вредное влияние. Предложены процедуры математической обработки результатов измерения угловой зависимости детектируемого сигнала, которые позволяют значительно повысить точность определения состава частиц в условиях предельно слабых полезных сигналов. Найдены характеристики интерференционной картины, не зависящие от «шума», вызванного подложкой, и предложены алгоритмы его подавления. В частности, для очень малых частиц, т. е. тогда, когда полезный сигнал особенно слаб, предложенная в работе процедура «вычитания фона» позволяет радикально уменьшить шумовой вклад подложки. Описан формализм приближенного восстановления структуры неоднородных частиц, не требующий формального решения обратной задачи и основанный на Фурье-анализе интерференционной картины. Возможные применения предложенных процедур иллюстрируются с помощью численных моделей.
Опис
Ключові слова
кремнийсодержащие частицы, микроанализ, угловя зависимость характеристической рентгеновской люминесценции
Бібліографічний опис
Фотоэлектроника = Photoelectronics
DOI
ORCID:
УДК
Зібрання