Фурье-контроль дефектности фотошаблонов интегральных схем
Альтернативна назва
Вантажиться...
Дата
1999
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
ISSN
E-ISSN
Назва тому
Видавець
Одеський національний університет імені І. І. Мечникова
Анотація
Предлагаемый в статье метод дифракции в слабосходящемся пучке когерентного монохроматического излучения показывает высокие результаты по чувствительности к дефектам фотошаблонов. При этом важную роль играет правильный выбор фотоматериала для изготовления пространственного фильтра. Аппаратная реализация предлагаемого метода контроля дефектности фотошаблонов легко реализуется на базе современного стандартного оборудования, что может быть полезным для повышения качества производства интегральных схем с высокой плотностью размещения элементов.
Опис
Ключові слова
Фурье-контроль, фотошаблон, метод дифракции, инетральная система
Бібліографічний опис
Фотоэлектроника = Photoelectronics