Фурье-контроль дефектности фотошаблонов интегральных схем

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorВеревкин, Г. Г.
dc.contributor.authorЗагинайло, И. В.
dc.contributor.authorКовалев, Юрий Витальевич
dc.date.accessioned2018-06-01T08:35:51Z
dc.date.available2018-06-01T08:35:51Z
dc.date.issued1999
dc.description.abstractПредлагаемый в статье метод дифракции в слабосходящемся пучке когерентного монохроматического излучения показывает высокие результаты по чувствительности к дефектам фотошаблонов. При этом важную роль играет правильный выбор фотоматериала для изготовления пространственного фильтра. Аппаратная реализация предлагаемого метода контроля дефектности фотошаблонов легко реализуется на базе современного стандартного оборудования, что может быть полезным для повышения качества производства интегральных схем с высокой плотностью размещения элементов.uk
dc.identifier.citationФотоэлектроника = Photoelectronicsuk
dc.identifier.uri681.14:535.8
dc.identifier.urihttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/16427
dc.language.isoruuk
dc.publisherОдеський національний університет імені І. І. Мечниковаuk
dc.relation.ispartofseries;Вып. 8.
dc.subjectФурье-контрольuk
dc.subjectфотошаблонuk
dc.subjectметод дифракцииuk
dc.subjectинетральная системаuk
dc.titleФурье-контроль дефектности фотошаблонов интегральных схемuk
dc.typeArticleuk
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
с.13-17.pdf
Розмір:
267.66 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити
Зібрання
Photoelectronics