Электронные свойства и адсорбционная чувствительность к кислороду тонких пленок селенида кадмия, подвергнутых ионной имплантации атомами тяжелых металлов
Вантажиться...
Дата
1999
Автори
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
ISSN
УДК 621.315.292
E-ISSN
Назва тому
Видавець
Одеський національний університет імені І. І. Мечникова
Анотація
Изучены электронные параметры и адсорбционная чувствительность к кислороду тонких полупроводниковых пленок селенида кадмия, подвергнутых ионной имплантации атомами тяжелых металлов. Обнаружено значительное изменение электропроводности, концентрации и подвижности электронов в материале. Наибольшие изменения наблюдаются при имплантации ионов индия. Обсуждается физический механизм влияния ионной имплантации на свойства реальной поверхности пленок CdSe.
Опис
Ключові слова
CdSe, селенид кадмия, кислород, ионная имплантация, атомы тяжелых металлов
Бібліографічний опис
Фотоэлектроника = Photoelectronics