Адсорбционная чувствительность пористого кремния. Обзор.

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorВашпанов, Юрий Александрович
dc.contributor.authorСмынтына, Валентин Андреевич
dc.date.accessioned2018-01-14T13:09:40Z
dc.date.available2018-01-14T13:09:40Z
dc.date.issued2001
dc.description.abstractВ огляді розглядаються різноманітні фізичні механізми адсорбції чутливості зразків макро-, мікро- і нанопоруватого кремнію на основі вивчення структурних, хімічних, електричних властивостей і морфології поверхні при різноманітних технологіях виготовлення і легування.uk
dc.description.abstractВ обзоре рассматриваются различные физические механизмы адсорбционной чувствительности образцов макро-, микро- и нанопористого кремния на основе изучения структурных, химических, электрических свойств и морфологии поверхности при различных технологиях изготовления и легирования.uk
dc.description.abstractThe review are considered the different physical mechanisms of adsorption sensitivity of of macro-, micro- and nanoporous silicon samples on the base of study of structural, chemical, electrical properties and morphology of surface surface at different technologies of manufacturing and doping.uk
dc.identifier.citationВісник Одеського національного університету = Odesa National University Heralduk
dc.identifier.urihttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/12519
dc.language.isoruuk
dc.publisherОдеський національний університет імені І. І. Мечниковаuk
dc.relation.ispartofseriesФізико-математичні науки;Т. 6, вип. 3.
dc.subjectоглядuk
dc.subjectобзорuk
dc.subjectreviewuk
dc.subjectкремнійuk
dc.subjectкремнийuk
dc.subjectsiliconuk
dc.subjectадсорбційна чутливість зразківuk
dc.subjectадсорбционная чувствительность образцовuk
dc.subjectadsorption sensitivity samplesuk
dc.titleАдсорбционная чувствительность пористого кремния. Обзор.uk
dc.typeArticleuk
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
116-133.pdf
Розмір:
1.12 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити
Зібрання
Дослiдження в математицi i механiцi