Исследование влияния паров воды на электрофизические свойства структур металл — туннельный окисел — кремний

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorФастыковский, Павел Петрович
dc.contributor.authorМогильницкий, А. А.
dc.contributor.authorГлауберман, Михаил Аббович
dc.contributor.authorМайко, Н. Н.
dc.contributor.authorГлауберман, Михайло Абович
dc.contributor.authorGlauberman, Mykhailo A.
dc.contributor.authorFastykovsky, Pavel P.
dc.contributor.authorФастиковський, Павло Петрович
dc.date.accessioned2018-06-01T13:06:29Z
dc.date.available2018-06-01T13:06:29Z
dc.date.issued2000
dc.description.abstractИсследовано влияние паров воды на емкость структур металл — туннельный окисел — кремний в широком диапазоне частот и напряжений. На основании экспериментальных результатов и анализа эквивалентных схем структур показано, что в общем случае увеличение измеряемой емкости структур при увеличении влажности воздуха связано с адсорбцией молекул воды тонким пористым окисным слоем, что, с одной стороны, приводит к увеличению диэлектрической проницаемости этого слоя, а с другой — к увеличению плотности поверхностных состояний границы раздела окисел-кремний. Превалирование в измеряемой емкости одного механизма влагочувствительности над другим зависит от режима электрического смещения на структуре.uk
dc.identifierУДК 621.382.223
dc.identifier.citationФотоэлектроника = Photoelectronicsuk
dc.identifier.urihttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/16438
dc.language.isoruuk
dc.publisherОдеський національний університет імені І. І. Мечниковаuk
dc.relation.ispartofseries;Вип. 9.
dc.subjectтуннельный окиселuk
dc.subjectкремнийuk
dc.subjectадсорбцияuk
dc.subjectэлектрическое смещениеuk
dc.titleИсследование влияния паров воды на электрофизические свойства структур металл — туннельный окисел — кремнийuk
dc.typeArticleuk
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
133-137.pdf
Розмір:
306.98 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити
Зібрання
Photoelectronics