Структурные и люминесцентные свойства пористого кремния, полученного методом лазерной абляции
dc.contributor.author | Гевелюк, Сергей Анатольевич | |
dc.contributor.author | Дойчо, Игорь Константинович | |
dc.contributor.author | Прокопович, Людвиг Петрович | |
dc.contributor.author | Савин, Д. П. | |
dc.date.accessioned | 2018-06-04T11:30:35Z | |
dc.date.available | 2018-06-04T11:30:35Z | |
dc.date.issued | 1999 | |
dc.description.abstract | Разработан метод получения пористого кремния при помощи лазерной абляции, состоящий в радиационном воздействии луча импульсного УФ лазера, сфокусированного на поверхности кремниевой пластины, которая может находиться в различных газовых средах. Образующийся на поверхности пластины пористый слой содержит кремниевые квантоворазмерные кластеры и их окисленные формы. Исследована структура полученных слоёв и измерены их спектры фотолюминесценции. Показано, что полученный пористый материал подобен слоям пористого кремния, создаваемым методом электрохимического травления, что обеспечивает новые технологические возможности при производстве оптоэлектронных приборов. | uk |
dc.identifier | УДК 621.315.592 | |
dc.identifier.citation | Фотоэлектроника = Photoelectronics | uk |
dc.identifier.uri | https://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/16498 | |
dc.language.iso | ru | uk |
dc.publisher | Одеський національний університет імені І. І. Мечникова | uk |
dc.relation.ispartofseries | ;Вып. 8. | |
dc.subject | пористый кремний | uk |
dc.subject | метод лазерной абляции | uk |
dc.title | Структурные и люминесцентные свойства пористого кремния, полученного методом лазерной абляции | uk |
dc.type | Article | uk |
Файли
Контейнер файлів
1 - 1 з 1
Вантажиться...
- Назва:
- с.18-21.pdf
- Розмір:
- 216.72 KB
- Формат:
- Adobe Portable Document Format
- Опис:
Ліцензійна угода
1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 1.71 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: