Структурные и люминесцентные свойства пористого кремния, полученного методом лазерной абляции

dc.contributor.authorГевелюк, Сергей Анатольевич
dc.contributor.authorДойчо, Игорь Константинович
dc.contributor.authorПрокопович, Людвиг Петрович
dc.contributor.authorСавин, Д. П.
dc.date.accessioned2018-06-04T11:30:35Z
dc.date.available2018-06-04T11:30:35Z
dc.date.issued1999
dc.description.abstractРазработан метод получения пористого кремния при помощи лазерной абляции, состоящий в радиационном воздействии луча импульсного УФ лазера, сфокусированного на поверхности кремниевой пластины, которая может находиться в различных газовых средах. Образующийся на поверхности пластины пористый слой содержит кремниевые квантоворазмерные кластеры и их окисленные формы. Исследована структура полученных слоёв и измерены их спектры фотолюминесценции. Показано, что полученный пористый материал подобен слоям пористого кремния, создаваемым методом электрохимического травления, что обеспечивает новые технологические возможности при производстве оптоэлектронных приборов.uk
dc.identifierУДК 621.315.592
dc.identifier.citationФотоэлектроника = Photoelectronicsuk
dc.identifier.urihttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/16498
dc.language.isoruuk
dc.publisherОдеський національний університет імені І. І. Мечниковаuk
dc.relation.ispartofseries;Вып. 8.
dc.subjectпористый кремнийuk
dc.subjectметод лазерной абляцииuk
dc.titleСтруктурные и люминесцентные свойства пористого кремния, полученного методом лазерной абляцииuk
dc.typeArticleuk
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Вантажиться...
Ескіз
Назва:
с.18-21.pdf
Розмір:
216.72 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Зібрання