ОСОБЛИВОСТІ СТВОРЕННЯ ХВИЛЕВОДНИХ СТРУКТУР ДЛЯ ДАТЧИКІВ ПЕРЕМІЩЕНЬ НА ПАХ

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЛепіх, Ярослав Ілліч
dc.contributor.authorЛопушенко, В. К.
dc.contributor.authorПіддубний, В. А.
dc.contributor.authorЖовнір, Н. Ф.
dc.contributor.authorLepikh, Yaroslav I.
dc.contributor.authorLopushenko, V. K.
dc.contributor.authorPoddubnyi, V. A.
dc.contributor.authorZhovnir, N. F.
dc.contributor.authorЛепих, Ярослав Ильич
dc.contributor.authorЛопушенко, В. К.
dc.contributor.authorПоддубный, В. А.
dc.contributor.authorЖовнир, Н. Ф.
dc.date.accessioned2010-09-08T09:00:17Z
dc.date.available2010-09-08T09:00:17Z
dc.date.issued2008
dc.descriptionСенсорна електронiка i мiкросистемнi технологiї = Sensor Electronics and Microsystem Technologies : наук.-техн. журнал. - Одеса : Астропринт - 2008.uk
dc.description.abstractУ роботі наведені результати досліджень і розробки вимірювальних перетворювачів для датчиків лінійних і кутових переміщень на поверхневих акустичних хвилях (ПАХ) на основі п’єзоелектричної плівки оксиду цинку (ZnО) з використанням плівкових хвилеводів. Досліджувалися малоапертурні зустрічно-штирьові перетворювачі (ЗШП) ПАХ і плівков і концентратори рупорного типу. Даються оцінки отриманим результатам досліджень. The results of investigation and development of measuring converters for gauges of linear and angular movings on the surface acoustic waves ( SAW) on the basis of piezoelectric zinc oxide (ZnO) film with the use of film waveguides are given in the article. SAW lowaperture opposing-pin converters (OPC) and horn type film concentrators were investigated. Investigation received results estimations are given. В работе приведены результаты исследований и разработки измерительных преобразователей для датчиков линейных и угловых перемещений с использованием пленочных волноводов на поверхностных акустических волнах (ПАВ) на основе пьезоелектрической пленки оксида цинка (ZnO). Исследовались малоапертурные встречно-штыревые преобразователи (ВШП) ПАВ и пленочные концентраторы рупорного типа. Даются оценки полученным результатам исследований.uk
dc.identifier.citationSensor Electronics and Microsystem Technologiesuk
dc.identifier.urihttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/221
dc.publisherАстропринтuk
dc.relation.ispartofseries;№ 3. - Р. 24 - 27.
dc.subjectповерхневі акустичні хвиліuk
dc.subjectхвилеводні структуриuk
dc.subjectп’єзоелектричні плівки ZnОuk
dc.subjectsurface acoustic wavesuk
dc.subjectwaveguides structuresuk
dc.subjectZnO piezoelectric filmuk
dc.subjectповерхностные акустические волныuk
dc.subjectволноводные структурыuk
dc.subjectпьезоэлектрические пленки ZnOuk
dc.titleОСОБЛИВОСТІ СТВОРЕННЯ ХВИЛЕВОДНИХ СТРУКТУР ДЛЯ ДАТЧИКІВ ПЕРЕМІЩЕНЬ НА ПАХuk
dc.title.alternativePECULIARITIES OF CREATION OF WAVEGUIDE STRUCTURES FOR GAUGES OF MOVINGS ON SAWuk
dc.title.alternativeОСОБЕННОСТИ СОЗДАНИЯ ВОЛНОВОДНЫХ СТРУКТУР ДЛЯ ДАТЧИКОВ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ НА ПАВuk
dc.typeArticleuk
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
sens3_08_24-27.pdf.pdf
Розмір:
176.15 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.82 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити
Зібрання
Сенсорна електроніка і мікросистемні технології