Silicon nanopillars forming and covering by Zn and Ti oxides for solar energy applications and biosensorics

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorBrytavskyi, Yevhen V.
dc.contributor.authorTereshchenko, Alla V.
dc.contributor.authorMyndrul, Valerii B.
dc.contributor.authorPavlenko, Mykola V.
dc.contributor.authorSmyntyna, Valentyn A.
dc.contributor.authorБритавський, Євген Вікторович
dc.contributor.authorТерещенко, Алла Володимирівна
dc.contributor.authorМиндрул, Валерій Борисович
dc.contributor.authorПавленко, Микола Миколайович
dc.contributor.authorСминтина, Валентин Андрійович
dc.contributor.authorБритавский, Евгений Викторович
dc.contributor.authorТерещенко, Алла Владимировна
dc.contributor.authorМындрул, Валерий Борисович
dc.contributor.authorПавленко, Николай Николаевич
dc.contributor.authorСмынтына, Валентин Андреевич
dc.date.accessioned2018-01-30T10:41:52Z
dc.date.available2018-01-30T10:41:52Z
dc.date.issued2017
dc.description.abstractThe work is focused on technology and characterization issues of silicon pillar nanostructures in combination with metal oxides, such as ZnO and TiO2, for various applications in field of biosensor and solar energy. The metal-assisted chemical etching method (MACE) modified with latex nanobeads lithography and spin-coating technique, was used to fabricate the uniform silicon nanopillar arrays. Atomic layer deposition technique (ALD) which is utilized for formation of oxide layers displays uniform coverage of the arrays and provides thin film formation independently on surface peculiarities. Therefore, it can be applied both for planar samples and 3D patterned substrates with porous media.uk
dc.description.abstractРобота присвячена технології і характеризації кремнієвих наноструктур в поєднанні з покриттям оксидами металів для різних застосувань в біосенсориці і сонячній енергетиці. У статті описується спосіб неелектролітичного травлення, модифікованого використанням шару наносфер на підкладці, сформованого методом поверхневого центрифугування. Метод атомно-шарового осадження, який використовувався для формування оксидів на наноструктурах, демонструє утворення рівномірного шару і не залежить від геометрії підкладки, тому він може застосовуватися як для плоских зразків, так і для підкладок з тривимірною структурою і з пористими шарами.uk
dc.description.abstractРабота посвящена технологии и характеризации кремниевых наноструктур в сочетании с оксидами металлов для различных применений в биосенсорике и солнечной энергетике. В статье описывается способ неэлектролитического травления, модифицированного использованием слоя наносфер на подложке, сформированного методом поверхностного центрифугирования. Метод атомно-слоевого осаждения, который использовался для формирования оксидов на наноструктурах, демонстрирует образование равномерного слоя и не зависит от геометрии подложки, поэтому он может применяться как для плоских образцов, так и для подложек с трехмерной структурой и с пористыми слоями.uk
dc.identifierУДК 73.40.Gk, Lq; 73.61.Ga
dc.identifier.citationФотоэлектроника = Photoelectronicsuk
dc.identifier.urihttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/12632
dc.language.isoenuk
dc.publisherОдеський національний університет імені І. І. Мечниковаuk
dc.relation.ispartofseries;№ 26.
dc.subjectnanopillarsuk
dc.subjectatomic layer depositionuk
dc.subjectnanocompositesuk
dc.subjectнаностовбчикuk
dc.subjectатомно-шарове осадженняuk
dc.subjectнанокомпозитuk
dc.subjectнаностолбикuk
dc.subjectатомно-слоевое осаждениеuk
dc.subjectнанокомпозитuk
dc.titleSilicon nanopillars forming and covering by Zn and Ti oxides for solar energy applications and biosensoricsuk
dc.title.alternativeФормування кремнієвих нано-пілларсів та покриття їх оксидами цинку та титану для використання в сонячній енергетиці та біосенсориціuk
dc.title.alternativeФормирование кремниевых нано-полларсов и покрытия их оксидами цинка и титана для использования в солнечной энергетике и биосенсорикеuk
dc.typeArticleuk
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
62-67.pdf
Розмір:
1.54 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити
Зібрання
Photoelectronics