Про лінійність робочої характеристики ємнісних сенсорів вологості газових середовищ на основі кремнієвих МОН - структур з нанорозмірним оксидним шаром

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorФастиковський, Павло Петрович
dc.contributor.authorГлауберман, Михайло Абович
dc.contributor.authorФастыковский, Павел Петрович
dc.contributor.authorFastykovsky, Pavel P.
dc.contributor.authorГлауберман, Михаил Аббович
dc.contributor.authorGlauberman, Mykhailo A.
dc.date.accessioned2019-03-27T13:11:04Z
dc.date.available2019-03-27T13:11:04Z
dc.date.issued2014
dc.description.abstractКремнієві МОН - структури (метал - оксид - напівпровідник) з нанорозмірним пористим оксидним шаром дуже перспективні для виготовлення на їх основі ємнісних сенсорів вологості газових середовищ, так як мають високу вологочутливість, малий гістерезис та лінійність робочої характеристики. Механізми вологочутливості структур були розкрити раніше, однак причини лінійності робочої характеристики з’ясовані не були.uk
dc.identifier.citation6-та Міжнародна наукова-технічна конференція "Сенсорна електроніка та мікросистемні технології"(СЕМСТ-6) (з виставкою розробок та промислових зразків сенсорів), Україна, Одеса, 29 вересня - 3 жовтня 2014 р. : тези доповідей : Конф. присвяч.150-й річниці Одеського нац. ун-ту ім. І.І. Мечникова і 100-річчю науки про напівпровідники / гол. ред.: В. А. Сминтина; редкол.: О. Є. Бєляєв [та ін.]; НАН України, Ін-т фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова, Одеський нац. ун-т ім. І.І. Мечникова. – Одеса : Астропринт, 2014. – 265 с.uk
dc.identifier.urihttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/23367
dc.language.isoukuk
dc.publisherОдеський національний університет імені І. І. Мечниковаuk
dc.subjectробоча характеристикаuk
dc.subjectємнісні сенсориuk
dc.subjectгазові середовищаuk
dc.subjectоксидний шарuk
dc.titleПро лінійність робочої характеристики ємнісних сенсорів вологості газових середовищ на основі кремнієвих МОН - структур з нанорозмірним оксидним шаромuk
dc.typeArticleuk
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
168.pdf
Розмір:
50.65 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити
Зібрання
Статті та доповіді ФМФІТ