Исследование объёмных неоднородностей в эпитаксиальных структурах арсенида галлия

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorТерлецкая, Л. Л.
dc.contributor.authorКопыт, Николай Харламович
dc.contributor.authorГолубцов, Вячеслав Васильевич
dc.date.accessioned2019-03-28T11:56:54Z
dc.date.available2019-03-28T11:56:54Z
dc.date.issued2010
dc.description.abstractПроблема объёмных неоднородностей в композиционных системах и приграничных областях слоёв приобрела особое значение в связи с интенсивным поиском возможностей уменьшения деградации полупроводниковых гомо- и гетероструктур, развитием технологий для создания новых приборов. В области интегральной сенсорной электроники на основе арсенида галлия по причине одностороннего подхода при оценке дефектности эпитаксиальных слоёв (по дислокациям), отсутствия соответствующего оборудования и методик для изучения объёмных неоднородностей всё ещё не удалось решить эту проблему ни на качественном, ни на количественном уровнях.uk
dc.identifier.citation"Сенсорна електроніка та мікросистемні технології (СЕМСТ-4)", міжнар. науково-техн. конф. (4; 2010; Одеса) Тези доповідей, 28 черв.-2 лип., 2010 р. / "Сенсорна електроніка та мікросистемні технології (СЕМСТ-4)", міжнар. науково-техн. конф. (4; 2010; Одеса); гол. ред. В. А. Сминтина; ОНУ ім. І.І. Мечникова [та ін.]. – Одеса : Астропринт, 2010. – 354 с.uk
dc.identifier.urihttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/23390
dc.language.isoruuk
dc.publisherАстропринтuk
dc.subjectобъёмные неоднородности в композиционных системахuk
dc.subjectуменьшение деградации полупроводниковых гомо- и гетероструктурuk
dc.subjectразвитием технологий для создания новых приборовuk
dc.subjectинтегральная сенсорная электроникиuk
dc.titleИсследование объёмных неоднородностей в эпитаксиальных структурах арсенида галлияuk
dc.typeArticleuk
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
314.pdf
Розмір:
265.07 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити
Зібрання
Статті та доповіді ФМФІТ