Исследование объёмных неоднородностей в эпитаксиальных структурах арсенида галлия
Вантажиться...
Файли
Дата
2010
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
ISSN
E-ISSN
Назва тому
Видавець
Астропринт
Анотація
Проблема объёмных неоднородностей в композиционных системах и
приграничных областях слоёв приобрела особое значение в связи с интенсивным
поиском возможностей уменьшения деградации полупроводниковых гомо- и
гетероструктур, развитием технологий для создания новых приборов. В области
интегральной сенсорной электроники на основе арсенида галлия по причине
одностороннего подхода при оценке дефектности эпитаксиальных слоёв (по
дислокациям), отсутствия соответствующего оборудования и методик для изучения
объёмных неоднородностей всё ещё не удалось решить эту проблему ни на
качественном, ни на количественном уровнях.
Опис
Ключові слова
объёмные неоднородности в композиционных системах, уменьшение деградации полупроводниковых гомо- и гетероструктур, развитием технологий для создания новых приборов, интегральная сенсорная электроники
Бібліографічний опис
"Сенсорна електроніка та мікросистемні технології (СЕМСТ-4)", міжнар. науково-техн. конф. (4; 2010; Одеса) Тези доповідей, 28 черв.-2 лип., 2010 р. / "Сенсорна електроніка та мікросистемні технології (СЕМСТ-4)", міжнар. науково-техн. конф. (4; 2010; Одеса); гол. ред. В. А. Сминтина; ОНУ ім. І.І. Мечникова [та ін.]. – Одеса : Астропринт, 2010. – 354 с.