Вплив поверхневого легування сіркою на морфологію поверхні n- GaAs
Вантажиться...
Дата
2019
Автори
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
ISSN
E-ISSN
Назва тому
Видавець
Одеський національний університет імені І. І. Мечникова
Анотація
У зв’язку з різким погіршенням стану світової екології та небезпекою багатьох промислових підприємств для стану здоров’я людини існує гостра необхідність у виробництві високочутливих газових сенсорах. Існуючі газові сенсори на основі оксидів мають чутливість, яка не повністю задовольняє сучасним вимогам, і тому потребують заміни на інші. Відомо, що височутливими сенсорами парів аміаку є р-n переходи на основі GaAs. Підняти газову чутливість таких структур можна за допомогою поверхневого легування сіркою.
Метою роботи було з’ясування причини зменшення газової чутливості p-n- переходів на основі GaAs при збільшенні часу поверхневого легування.
Для виконання поставленої мети проводилися дослідження морфології поверхні n-GaAs до та після поверхневого легування сіркою з різною тривалістю.
Опис
Ключові слова
104 фізика та астрономія, вплив сульфідної обробки на характеристики поверхні GaAs, особливості розміщення та роботи АСМ NT-206, аналіз морфології сульфідованої поверхні n-GaAs
Бібліографічний опис
Мальцев, С. В. Вплив поверхневого легування сіркою на морфологію поверхні n-GaAs : дипломна робота магістра / С. В. Мальцев. – Одеса, 2019. – 43 с.