Програмні засоби підтримки технології мікролітографії
Ескіз недоступний
Дата
2017
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
ISSN
E-ISSN
Назва тому
Видавець
Одеський національний університет імені І. І. Мечникова
Анотація
Робота присвячена розробці програмних засобів підтримки технологічного процесу мікролітографії. Сучасний рівень мініатюризації при виготовленні інтегральних мікросхем вимагає дотримання проектної норми у в діапазоні 10-20 нм. Це зумовлює стрімкий ріст кількісних характеристик мікролітографічних проектів. Для їх створення потрібні все більш досконалі програмні засоби підтримки. Метою даної роботи є розробка перспективної програмної архітектури, яку можна було б використовувати для вирішення багатьох практичних задач, зокрема задачу візуалізації мікролітографічного проекту. В якості засобу для опису мікролітографічного проекту був використаний формат GDSII, який фактично є галузевим стандартом.
Опис
Ключові слова
6.050102 комп’ютерна інженерія, технології мікролітографії, програмні засоби підтримки, процес мікролітографії, оптична близькість, корегування дефекту, Qt та його особливості, система контролю версій Git, формат GDSII
Бібліографічний опис
Михаленко, В. В. Програмні засоби підтримки технології мікролітографії = Программные средства поддержки технологии микролитографии = Software support of the microlithography technology : дипломна робота бакалавра / В. В. Михаленко; наук. кер. В. Г. Пенко; ОНУ ім. І.І. Мечникова, ІМЕМ, Каф. математичного забезпечення комп'ютерних систем. – Одеса, 2017. – 75 с.