Особенности улучшения структурно-чувствительных параметров сенсоров на основе гетерогенных дисперсных систем
dc.contributor.author | Терлецкая, Л. Л. | |
dc.contributor.author | Копыт, Николай Харламович | |
dc.contributor.author | Голубцов, Вячеслав Васильевич | |
dc.contributor.author | Терлецька, Л. Л. | |
dc.contributor.author | Копит, М. Х. | |
dc.contributor.author | Голубцов, В. В. | |
dc.contributor.author | Terletskaya, L. L. | |
dc.contributor.author | Kopyt, Mykola Kh. | |
dc.contributor.author | Golubtsov, V. V. | |
dc.date.accessioned | 2012-02-03T11:21:24Z | |
dc.date.available | 2012-02-03T11:21:24Z | |
dc.date.issued | 2010 | |
dc.description | Физика аэродисперсных систем: межвед.научный сборник / Одесский национальный университет имени И.И. Мечникова. - Одесса,2010 | uk |
dc.description.abstract | Рассмотрены особенности получения подложек GaAs с улучшенными структурными электрофизическими параметрами для сенсоров. Розработаны оптимальные технологические режимы процессов изотермической обработки и обработки исходных пластин в поле градиента температур, способствуюих значительному снижению плотности дислокаций и уменьшению объемной доли проводящих неоднородностей. Комплексное применение разработаных методов предназначено для оптимизации технологии получения подложек GaAs в производстве сенсоров и повышения их надежности. | uk |
dc.description.abstract | Розглянуто особливості отримання підкладинок GaAs з поліпшеними структурними та електрофізичними параметрами для сенсорів. Розроблено оптимальні режими процесів ізотермічної оброботки та обробки пластин у полі градієнта температур, що сприяють значному зменшенню щільності дислокацій та об'ємної частки провідних неоднорідностей. Комплексне застосування розроблених методів призначено для оптимізації технології отримання підкладинок GaAs у виробництві сенсорів з підвищеною надійністю | uk |
dc.identifier.citation | Физика аэродисперсных систем: межвед.научный сборник / Одесский национальный университет имени И.И. Мечникова. - Одесса,2010 | uk |
dc.identifier.uri | https://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/2239 | |
dc.publisher | Одесский национальный университет им.И.И. Мечникова | uk |
dc.relation.ispartofseries | ;вып.47, С.154-159 | |
dc.subject | сенсор | uk |
dc.subject | технологические режимы | uk |
dc.subject | процесс | uk |
dc.subject | плотность | uk |
dc.subject | сенсор | uk |
dc.subject | технологічний режим | uk |
dc.subject | процес | uk |
dc.subject | щільність | uk |
dc.title | Особенности улучшения структурно-чувствительных параметров сенсоров на основе гетерогенных дисперсных систем | uk |
dc.title.alternative | Особливості поліпшування структурно-чутливих параметрів сенсорів на основі гетерогенних дисперсних систем | uk |
dc.title.alternative | The features of structure-sensitives parameters improvement of heterogeneous dispersion system-base sensors | uk |
dc.type | Article | uk |
Файли
Контейнер файлів
1 - 1 з 1
Ліцензійна угода
1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 1.71 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: