Свободный зонд из монодисперсных сферических частиц в качестве датчика состояния плазмы

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКопыт, Николай Харламович
dc.contributor.authorСеменов, К. И.
dc.contributor.authorКопыт, Н. Н.
dc.date.accessioned2019-03-27T13:15:18Z
dc.date.available2019-03-27T13:15:18Z
dc.date.issued2014
dc.description.abstractДиагностика плазмы играет важную роль в процессе разработки и оптимизации плазменного технологического оборудования. Наиболее подходящим методом диагностики плазмы реакторов является метод электрических зондов. Однако для технологических установок характерна совокупность проблем, которые осложняют корректное проведение зондовых измерений и их интерпретацию: наличие магнитного поля, ВЧ и СВЧ полей высокого уровня мощности и т.д.uk
dc.identifier.citation6-та Міжнародна наукова-технічна конференція "Сенсорна електроніка та мікросистемні технології"(СЕМСТ-6) (з виставкою розробок та промислових зразків сенсорів), Україна, Одеса, 29 вересня - 3 жовтня 2014 р. : тези доповідей : Конф. присвяч.150-й річниці Одеського нац. ун-ту ім. І.І. Мечникова і 100-річчю науки про напівпровідники / гол. ред.: В. А. Сминтина; редкол.: О. Є. Бєляєв [та ін.]; НАН України, Ін-т фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова, Одеський нац. ун-т ім. І.І. Мечникова. – Одеса : Астропринт, 2014. – 265 с.uk
dc.identifier.urihttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/23369
dc.language.isoruuk
dc.publisherОдеський національний університет імені І. І. Мечниковаuk
dc.subjectсвободный зондuk
dc.subjectмонодисперсные сферические частицыuk
dc.subjectдатчикuk
dc.subjectсостояние плазмыuk
dc.titleСвободный зонд из монодисперсных сферических частиц в качестве датчика состояния плазмыuk
dc.typeArticleuk
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
169.pdf
Розмір:
131.93 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити
Зібрання
Статті та доповіді ФМФІТ