Свободный зонд из монодисперсных сферических частиц в качестве датчика состояния плазмы
dc.contributor.author | Копыт, Николай Харламович | |
dc.contributor.author | Семенов, К. И. | |
dc.contributor.author | Копыт, Н. Н. | |
dc.date.accessioned | 2019-03-27T13:15:18Z | |
dc.date.available | 2019-03-27T13:15:18Z | |
dc.date.issued | 2014 | |
dc.description.abstract | Диагностика плазмы играет важную роль в процессе разработки и оптимизации плазменного технологического оборудования. Наиболее подходящим методом диагностики плазмы реакторов является метод электрических зондов. Однако для технологических установок характерна совокупность проблем, которые осложняют корректное проведение зондовых измерений и их интерпретацию: наличие магнитного поля, ВЧ и СВЧ полей высокого уровня мощности и т.д. | uk |
dc.identifier.citation | 6-та Міжнародна наукова-технічна конференція "Сенсорна електроніка та мікросистемні технології"(СЕМСТ-6) (з виставкою розробок та промислових зразків сенсорів), Україна, Одеса, 29 вересня - 3 жовтня 2014 р. : тези доповідей : Конф. присвяч.150-й річниці Одеського нац. ун-ту ім. І.І. Мечникова і 100-річчю науки про напівпровідники / гол. ред.: В. А. Сминтина; редкол.: О. Є. Бєляєв [та ін.]; НАН України, Ін-т фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова, Одеський нац. ун-т ім. І.І. Мечникова. – Одеса : Астропринт, 2014. – 265 с. | uk |
dc.identifier.uri | https://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/23369 | |
dc.language.iso | ru | uk |
dc.publisher | Одеський національний університет імені І. І. Мечникова | uk |
dc.subject | свободный зонд | uk |
dc.subject | монодисперсные сферические частицы | uk |
dc.subject | датчик | uk |
dc.subject | состояние плазмы | uk |
dc.title | Свободный зонд из монодисперсных сферических частиц в качестве датчика состояния плазмы | uk |
dc.type | Article | uk |
Файли
Контейнер файлів
1 - 1 з 1
Ліцензійна угода
1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 1.71 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: