Основы высоколокальной СВЧ сенсорики
dc.contributor.author | Гордиенко, Ю. Е. | |
dc.contributor.author | Лепих, Ярослав Ильич | |
dc.contributor.author | Проказа, А. М. | |
dc.date.accessioned | 2019-03-27T10:14:32Z | |
dc.date.available | 2019-03-27T10:14:32Z | |
dc.date.issued | 2014 | |
dc.description.abstract | СВЧ сенсорика исходит из радиоволновых методов контроля диэлектрических материалов и сред. Особое развитие в 1960-1990 годах получили безэлктродные методы и техника контроля параметров полупроводниковых материалов . Однако, на современном этапе возникла необходимость существенного увеличения локальности такого контроля. Исходя из принципа Аббе, сформулированного в физической оптике, классический подход в проектировании СВЧ чувствительных элементов (первичных измерительных преобразователей) исключает субмикронную локальность. | uk |
dc.identifier.citation | 6-та Міжнародна наукова-технічна конференція "Сенсорна електроніка та мікросистемні технології"(СЕМСТ-6) (з виставкою розробок та промислових зразків сенсорів), Україна, Одеса, 29 вересня - 3 жовтня 2014 р. : тези доповідей : Конф. присвяч.150-й річниці Одеського нац. ун-ту ім. І.І. Мечникова і 100-річчю науки про напівпровідники / гол. ред.: В. А. Сминтина; редкол.: О. Є. Бєляєв [та ін.]; НАН України, Ін-т фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова, Одеський нац. ун-т ім. І.І. Мечникова. – Одеса : Астропринт, 2014. – 265 с. | uk |
dc.identifier.uri | https://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/23340 | |
dc.language.iso | ru | uk |
dc.publisher | Одеський національний університет імені І. І. Мечникова | uk |
dc.subject | сенсорика | uk |
dc.subject | ближнеполевая микроскопия | uk |
dc.subject | апертура | uk |
dc.subject | накопительная область | uk |
dc.subject | характеристики преобразования | uk |
dc.title | Основы высоколокальной СВЧ сенсорики | uk |
dc.type | Article | uk |
Файли
Контейнер файлів
1 - 1 з 1
Ліцензійна угода
1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 1.71 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: