LASER PHOTOEXCITATION AND PHOTODISSOCIATION OF MOLECULES: OPTIMIZED SCHEMES FOR CLEANSING SEMICONDUCTOR MATERIALS FROM ADMIXTURES

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorLepikh, Yaroslav I.
dc.contributor.authorGlushkov, A. V.
dc.contributor.authorKhetselius, O. Yu.
dc.contributor.authorLoboda, A. V.
dc.contributor.authorЛепіх, Ярослав Ілліч
dc.contributor.authorЛепих, Ярослав Ильич
dc.date.accessioned2013-12-17T09:52:55Z
dc.date.available2013-12-17T09:52:55Z
dc.date.issued2008
dc.description3-я Міжнародна науково-технічна конференція. Сенсорна елетроніка і мікросистемні технології (СЕМСТ-3). Україна, Одеса, 2-6 червня 2008 р.: Тези доповідей. - Одеса: Астропринт, 2008.- 400 с.uk
dc.description.abstractSelective photo-ionization and photo-dissociation of molecules method is supposed to be very much perspective method for cleaning materials from molecular admixtures and other applications. For example, the laser cleaning mono-silan is of a great interest for obtaining a poor Si in the semiconductor industry.uk
dc.identifier.citation3-я Міжнародна науково-технічна конференція. Сенсорна елетроніка і мікросистемні технології (СЕМСТ-3). Україна, Одеса, 2-6 червня 2008 р.uk
dc.identifier.urihttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/4106
dc.language.isoenuk
dc.publisherАстропринтuk
dc.relation.ispartofseries;С. 281
dc.subjectphotoexcitation of moleculesuk
dc.subjectphotodissociation of moleculesuk
dc.subjectcleansing semiconductor materialsuk
dc.titleLASER PHOTOEXCITATION AND PHOTODISSOCIATION OF MOLECULES: OPTIMIZED SCHEMES FOR CLEANSING SEMICONDUCTOR MATERIALS FROM ADMIXTURESuk
dc.typeArticleuk
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
281.pdf
Розмір:
12.12 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити
Зібрання
Статті та доповіді ФМФІТ