Програмні засоби підтримки технології мікролітографії
Вантажиться...
Дата
2017
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
ISSN
E-ISSN
Назва тому
Видавець
Одеський національний університет імені І. І. Мечникова
Анотація
Робота присвячена розробці програмних засобів підтримки
технологічного процесу мікролітографії. Сучасний рівень мініатюризації при
виготовленні інтегральних мікросхем вимагає дотримання проектної норми у
в діапазоні 10-20 нм. Це зумовлює стрімкий ріст кількісних характеристик
мікролітографічних проектів. Для їх створення потрібні все більш досконалі
програмні засоби підтримки. Метою даної роботи є розробка перспективної
програмної архітектури, яку можна було б використовувати для вирішення
багатьох практичних задач, зокрема задачу візуалізації мікролітографічного
проекту. В якості засобу для опису мікролітографічного проекту був
використаний формат GDSII, який фактично є галузевим стандартом.
Методологічний підхід до побудови такої архітектури базувався на
використанні об’єктно-орієнтованої декомпозиції предметної області на
основі принципів об’єктно-орієнтованого проектування.
Результатом виконання роботи є програмна архітектура, яка повноцінно
моделює поняття мікролітографічного процесу і дає можливість реалізувати
основні операції над ним. Основним практичним результатом є розробка
платформо-незалежної програми візуалізації мікролітографічного проекту.
Запропонована архітектура є перспективною і дозволяє
використовувати себе в майбутньому при вирішенні таких актуальних задач
як конструювання, виявлення і усунення критичних зон.
Опис
Ключові слова
6.050102 - Комп’ютерна інженерія, мікролітографія, інформаційні технології, дефект оптичної близькості, проектування програмної системи
Бібліографічний опис
Михаленко, В. В. Програмні засоби підтримки технології мікролітографії = Программные средства поддержки технологии микролитографии = Software support of the microlithography technology : дипломна робота бакалавра / В. В. Михаленко ; наук. кер. В. Г. Пенко ; ОНУ ім. І.І. Мечникова, ІМЕМ, Каф. математичного забезпечення комп'ютерних систем . – Одеса, 2017 . – 75 с.