(Одеський національний університет ім. І. І. Мечникова, 2023) Аджалілов, Мурат Курсаітович
Зменшення розмірів сучасних напівпровідникових пристроїв збільшує вплив поверхневих явищ на їхні характеристики. Через це виникає необхідність покращення стану поверхні, яке відбувається при усуненні дефектів та оксидів з поверхні та її захисту від впливу зовнішніх чинників.
Сульфідна обробка поверхні є одним з методів, який дозволяє в одному технологічному циклі виконати як хімічну, так і електронну пасивацію поверхні. Незважаючи на велику кількість наукових досліджень, немає систематичних досліджень, які були б присвячені порівнянням впливів короткотривалої і довготривалої обробки на зміну характеристик напівпровідникових приладів одного виду.