Бурко, Ярослава Павлівна2022-02-082022-02-082021Бурко, Я. П. Вплив режимів сульфідної обробки на характеристики поверхні n-GaAs : дипломна робота бакалавра. – Одеса, 2021. – 38 с.https://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/32463Напрямок нанотехнології з розробки мікро- та нано-електромеханічних систем, який стрімко розвивається останнім часом, вимагає кращих параметрів для характеристики геометрії і властивостей поверхні напівпровідників. При цілеспрямованому формуванні систем із заданими властивостями необхідно визначити важелі впливу і керування кількісним і фазовим складом, морфологією і рельєфом поверхні, які є найважливішими чинниками функціональності. Якість поверхні механічних та електронних виробів з точки зору її мікрогеометрії у багатьох випадках визначає їх надійність і довговічність при експлуатації. Метою цієї роботи є дослідження механізмів впливу сульфідної обробки на морфологію поверхні арсеніду, перевірка гіпотези щодо залежності шорсткості поверхні від напрямку вимірювання після можливої поверхневої реконструкції ґратки внаслідок обробки. У роботі розглянуто переваги та недоліки різних методів дослідження нанооб’єктів, зокрема розбір різних класів скануючої зондової мікроскопії, принцип роботи та характеристики атомно-силової мікроскопії. Наведені та детально пояснені параметри і причини виникнення поверхневих неоднорідностей різного масштабу. Проаналізовано можливості різних програм для аналізу виміряних значень параметрів, які дають інформацію про особливості морфології поверхні.uk105 прикладна фізика та наноматеріалипластина n-GaAsсульфідна обробкаустановка зондаGwyddionDiplomas