Смынтына, Валентин АндреевичВашпанов, Юрий АлександровичБабинчук, В. С.2012-10-122012-10-121985Неорганические материалыhttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/2603Неорганические материалы / , РАН . – М. : Наука, 1985 . – На рус. яз.При выращивании слоев полупроводников методом конденсации в вакууме в квазизамкнутом объеме происходит перестройка их структуры,изменяются природа и концентрация собственных донорпых и акцепторных дефектов.В зависимости от температуры подложки и испарителя, времени напыления и толщины слоя эти процессы могут протекать одновременно с различными скоростями и сменять друг друга на определенных стадиях роста.Это существенно затрудняет интерпретацию наблюдаемых закономерностей изменений удельной электропроводности и скорости роста пленки полупроводников при различных условиях опытов.ruArticle