Lepikh, Yaroslav I.Snigur, Pavlo O.Balaban, Andriy P.Лепіх, Ярослав ІллічСнігур, Павло ОлексійовичБалабан, Андрій ПетровичЛепих, Ярослав ИльичСнегур, Павел АлександровичБалабан, Андрей Петрович2017-03-312017-03-312017Сенсорна електронiка i мiкросистемнi технологiї = Sensor Electronics and Microsystem Technologieshttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/9622Abstract. The method of acoustoabsorber putting on acoustic ducts of devices on the surface acoustic waves, basing on stencilling which used at manufacturing of thick-film hybrid integrated circuits is described. The block diagram of technological process of acoustoabsorber deposition is given. Features of the separate operations are discussed.Анотація. У роботі описано метод нанесення акустопоглинача на звукопроводи пристроїв на поверхневих акустичних хвилях, що базується на трафаретному друці, який використовується при виготовленні товстоплівкових гібридних інтегральних схем. Приведено структурну схему технологічного процесу нанесення акустопоглинача. Обговорюються особливості окремих операційАннотация. В работе описан метод нанесения акустопоглотителя на звукопроводы устройств на поверхностных акустических волнах, базирующийся на трафаретной печати, использующейся при изготовлении толстопленочных гибридных интегральных схем. Приведена структурная схема технологического процесса нанесения акустопоглотителя. Обсуждаются особенности отдельных операций.enacoustoelectronic device on surface acoustic wavesacoustoabsorberstencillingакустоелектронний пристрій на поверхневих акустичних хвиляхакустопоглиначтрафаретний друкакустоэлектронные устройство на поверхностных акустических волнахакустопоглотительтрафаретная печатьArticle