Евтушенко, Нина ГермоновнаСтукалов, Сергей Анатольевич2018-02-162018-02-162000Вісник Одеського національного університету = Odesa National University Heraldhttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/12838Досліджено вплив лазерної імплантації потужними мілісекундними імпульсами випромінювання N d -лазера на структуру і механічні властивості GaP. Показано па,чіння мікротвердості лазерно- імплантованих ніарів пов’язане з випаровуванням ф о сф о р у , і розповсюдження порушеної області з підвищеною г>'стиною дислокацій на глибину до 160 мкм. Отримані результати інтерпретуються у рамках деформаційно - теплових механізмів.Исследовано влияние лазерной имплантации мощными миллисекундными импульсами излучения N d-лазера на структуру и механические свойства GaP. Показано падение микротвердости лазерно- имплантированных слоев связанное с испарением ф о сф о р а , и распр остр анение нарушенной области с повышенной плотностью дислокаций на глубину до 160 мкм. Полученные результаты интерпретируются в рамках деформационо- тепловых механизмов.The influence o f implantation o f impurities with powerful millisecond pulses o f the Nd-laser on GaP structure and mechanical properties is investigated. The microhardness diminution o f the implanted layers attributed to phosphorus evaporation and widening o f the region with increased dislocation density over 160 microns depth is shown. The results are explained in terms o f the thermaldeformation mechanisms.ruДефектообразование в gapлазерная имплантация примесей I и IIІ группArticle