Михаленко, Владислав Володимирович2020-04-292020-04-292018Михаленко, В. В. Дослідження та реалізація методів виявлення дефектів мікролітографічних проектів на основі нейромережевних підходів : дипломна робота магістра / В. В. Михаленко. – Одеса, 2018. – 80 с.https://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/27908Робота присвячена розробці програмних засобів на тему «Дослідження та реалізація методів виявлення дефектів мікролітографічних проектів на основі нейромережевих підходів». Мета роботи – розробка та реалізація підходу для виявлення та класифікації дефектних областей в мікролітографічних проектних рішеннях. Об’єктом дослідження в межах даної роботи є мікролітографічні проекти у форматі GDSII з розміщеною в них графічною інформацією. Предмет дослідження – дефекти, що виникають у процесі виготовлення мікрочіпів, а саме експонування маски на напівпровідникову підкладку. У результаті роботи було розроблено програмні модулі, що реалізують витягнення попередньо виділених у GDSII файлі дефектних областей, спрощену симуляцію процесу мікролітографії та кодування змісту GDSII-проектів у вигляді спеціалізованих структур – супер-пікселів. На базі отриманих результатів було проведено суб’єктивну класифікацію критичних областей і побудовано навчальну вибірку для згорткового нейромежевого класифікатору.uk6.050102 комп’ютерна інженеріямікролітографіяPattern MatchingMachine LearningмікрочіпиМЛ-проекти з розміщеною в них графічною інформацієюDiplomas