Вашпанов, Юрий АлександровичСмынтына, Валентин Андреевич2012-10-162012-10-162002Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiвhttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/2624Тези доповiдей, 10-14 червня 2002 р / Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв (1; 2002; Одеса) – Одеса : Астропринт, 2002В докладе представлены результаты исследований электронных и газо-чувствительных свойств пористого кремния. Образцы пористого кремния (ПК) были получены методом анодного электрохимического травления разных марок кристаллического кремния в водном растворе фтористо-водородной кислоты.Использовали дополнительно ультразвуковую обработку материала.На поверхность ПК напыляли газо-прозрачные контакты щелевого типа из алюминия.ruArticle