Копыт, Н. Х.Семенов, К. И.Копыт, Н. Н.2013-02-182013-02-182012"Дисперсные системы" XXV междн.науч.конф.Материалы конференцииhttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/3223"Дисперсные системы",XXV междн.науч.конф. материалы,17-21 сентября 2012 г. - Одесса, 2012Диагностика плазмы играет важную роль в процессе разработки и оптимизации плазменного технологического оборудования. Наиболее подходящим методом диагностики плазмы реакторов является метод электрических зондов. Его несомненными преимуществами являются: большое число одновременно измеряемых параметров (температура и концентрация электронов, концентрации положительных и отрицательных ионов, функция распределения электронов по энергиям, потенциал плазмы); возможность проведения автоматизированных измерений при относительно низкой стоимости аппаратуры и т.д. Анализ фундаментальных параметров плазмы, полученных в технологических условиях, позволяет оптимизировать источники плазмы на конкретные технологические применения.ruсвободный зонддатчикиArticle