Вашпанов, Юрий АлександровичСмынтына, Валентин Андреевич2018-01-142018-01-142001Вісник Одеського національного університету = Odesa National University Heraldhttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/12519В огляді розглядаються різноманітні фізичні механізми адсорбції чутливості зразків макро-, мікро- і нанопоруватого кремнію на основі вивчення структурних, хімічних, електричних властивостей і морфології поверхні при різноманітних технологіях виготовлення і легування.В обзоре рассматриваются различные физические механизмы адсорбционной чувствительности образцов макро-, микро- и нанопористого кремния на основе изучения структурных, химических, электрических свойств и морфологии поверхности при различных технологиях изготовления и легирования.The review are considered the different physical mechanisms of adsorption sensitivity of of macro-, micro- and nanoporous silicon samples on the base of study of structural, chemical, electrical properties and morphology of surface surface at different technologies of manufacturing and doping.ruоглядобзорreviewкремнійкремнийsiliconадсорбційна чутливість зразківадсорбционная чувствительность образцовadsorption sensitivity samplesArticle