Fastykovsky, Pavel P.Glauberman, Mykhailo A.Фастиковський, Павло ПетровичГлауберман, Михайло АбовичГлауберман, Михаил АббовичФастыковский, Павел Петрович2016-02-102016-02-102015Сенсорна електронiка i мiкросистемнi технологiї = Sensor Electronics and Microsystem Technologieshttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/7984The purpose of this work is to establish the reason for the performance linearity of the environment gas humidity capacitive sensors, based on silicon MOS structures with a nanodimensional silicon oxide being in depletion or weak inversion modes.Метою роботи є встановлення причини лінійності робочої характеристики ємнісних сенсорів вологості газових середовищ на основі кремнієвих МОН – структур з нанорозмірним оксидним шаром, що знаходяться у режимах збіднення або слабкої інверсії.enhumidity sensorperformancelinearitycapacitanceMOS structureсенсор вологостіробоча характеристикалінійністьємністьМОН – структураAbout performance linearity of the environment gas humidity capacitive sensors based on silicon mos structures with a nanodimensional silicon oxideПро лінійність робочої характеристики ємнісних сенсорів вологості газових середовищ на основі кремнієвих мон – структур з нанорозмірним оксидним шаромArticle