Фастиковський, Павло ПетровичРоговська, Е. Т.Fastykovsky, Pavel P.Фастыковский, Павел Петрович2013-12-172013-12-1720083-я Міжнародна науково-технічна конференція. Сенсорна елетроніка і мікросистемні технології (СЕМСТ-3). Україна, Одеса, 2-6 червня 2008 р.https://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/4089Створення сучасних датчиків механічних величин потребує розробки нових типів чутливих елементів, які б були сумісні з кремнієвою інтегральною технологією. Тому, дослідження структур метал - нанорозмірний оксид кремнію - кремній, які мають високу тензочутливість.ukтензочутливістьінверсійні мон-структуриоксидний шарArticle