Терлецкая, Л. Л.Копыт, Николай ХарламовичГолубцов, Вячеслав Васильевич2019-03-282019-03-282010"Сенсорна електроніка та мікросистемні технології (СЕМСТ-4)", міжнар. науково-техн. конф. (4; 2010; Одеса) Тези доповідей, 28 черв.-2 лип., 2010 р. / "Сенсорна електроніка та мікросистемні технології (СЕМСТ-4)", міжнар. науково-техн. конф. (4; 2010; Одеса); гол. ред. В. А. Сминтина; ОНУ ім. І.І. Мечникова [та ін.]. – Одеса : Астропринт, 2010. – 354 с.https://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/23390Проблема объёмных неоднородностей в композиционных системах и приграничных областях слоёв приобрела особое значение в связи с интенсивным поиском возможностей уменьшения деградации полупроводниковых гомо- и гетероструктур, развитием технологий для создания новых приборов. В области интегральной сенсорной электроники на основе арсенида галлия по причине одностороннего подхода при оценке дефектности эпитаксиальных слоёв (по дислокациям), отсутствия соответствующего оборудования и методик для изучения объёмных неоднородностей всё ещё не удалось решить эту проблему ни на качественном, ни на количественном уровнях.ruобъёмные неоднородности в композиционных системахуменьшение деградации полупроводниковых гомо- и гетероструктурразвитием технологий для создания новых приборовинтегральная сенсорная электроникиArticle