Лепіх, Ярослав ІллічЛепих, Ярослав ИльичLepikh, Yaroslav I.Бєляєв, О. Є.Belyaev, O. E.Оліх, Я. М.Olikh, Ya. M.2022-01-272022-01-272021Сенсорна електронiка i мiкросистемнi технологiї = Sensor Electronics and Microsystem Technologieshttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/32405Досліджено і проведено аналіз методичних можливостей збудження квазіпоздовжніх (QL) акустичних хвиль мегагерцового частотного діапазону у шаруватих структурах GaN‑on-sapphire. Для генерації і детектування QL‑хвиль використано перетворювачі об’ємного типу поляризовані по товщині пластинки. Зроблено висновок, що таким методом можуть бути збуджені квазіпоздовжні хвилі (QL, quasilongitudinalmodes) – так звані хвилі Анісімкіна (AN), площина зміщень для яких локалізується в площині плівки, а напрям зміщення направлений вздовж хвильового вектора.The analysis of methodological possibilities of excitation of quasi-longitudinal (QL) acoustic waves of the megahertz frequency range in layered structures GaN‑on-sapphire is studied and carried out. Volume-type transducers polarized by plate thickness are used to generate and detect QL waves. It is concluded that quasilongitudinal modes (QL) can be excited by this method – the socalled Anisimkin (AN) waves, for which the displacement plane is localized in the film plane and the displacement direction is directed along the wave vector.Аннотация. Исследован и проведен анализ методических возможностей возбуждения квазипродольных (QL) акустических волн мегагерцового частотного диапазона в слоистых структурах GaN‑on-sapphire. Для генерации и детектирования QL‑волн использованы преобразователи объемного типа, поляризованные по толщине пластинки. Сделано заключение, что таким методом могут быть возбуждены квазипродольные волны (QL, quasilongitudinal modes) – так называемые волны Анисимкина (AN), плоскость смещений для которых локализуется в плоскости пленки, а направление смещения направлено вдоль волнового вектора.ukквазіпоздовжні поверхневі акустичні хвиліхвилі Анісімкінашаруваті структуриquasi-longitudinal surface acoustic wavesAnisimkin waveslayered structuresквазипродольные поверхностные акустические волныволны Анисимкинаслоистые структурыМетод збудження квазіпоздовжніх акустичних хвиль у шаруватих структурахMethod of excitation of quasi longitudinal acoustic waves in layered structuresМетод возбуждения квазипродольных акустиеских волн в слоистых структурахArticle10.18524/1815-7459.2021.4.248176