Лепіх, Ярослав ІллічLepikh, Yaroslav I.Лепих, Ярослав Ильич2012-03-052012-03-052011Сенсорна електронiка i мiкросистемнi технологiї = Sensor Electronics and Microsystemhttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/2267Сенсорна електронiка i мiкросистемнi технологiї = Sensor Electronics and Microsystem Technologies : наук.-техн. журнал. - Одеса : Астропринт,2011 - T.2(8)3,- укр.Наводяться результати розробки і дослідження мікроелектронного сенсора водню, побудованого на основі акустоелектронного елемента на поверхневих акустичних хвилях і шаруватих структур з двох матеріалів, один з яких виконує функцію молекулярного сита.Приводятся результаты разработки и исследования микроэлектронного сенсора водорода, построенного на основе акустоэлектронного элемента на поверхностных акустических волнах и слоистых структурах из двух материалов, один из которых выполняет функцию молекулярного сита.Results of development and research of a microelectronic hydrogen sensor constructed on the basis of an element on surface acoustic waves and layered structures from two materials one of which execute function of a molecular sieve are presentedukсенсор воднюповерхневі акустичні хвилішаруваті структуримолекулярнесенсор водородаповерхностные акустические волныслоистые структурымолекулярное ситоhydrogen sensorsurface acoustic waveslayered structuresa molecular sieveArticle