Мальцев, Сергій Васильович2020-03-262020-03-262019Мальцев, С. В. Вплив поверхневого легування сіркою на морфологію поверхні n-GaAs : дипломна робота магістра / С. В. Мальцев. – Одеса, 2019. – 43 с.https://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/27679У зв’язку з різким погіршенням стану світової екології та небезпекою багатьох промислових підприємств для стану здоров’я людини існує гостра необхідність у виробництві високочутливих газових сенсорах. Існуючі газові сенсори на основі оксидів мають чутливість, яка не повністю задовольняє сучасним вимогам, і тому потребують заміни на інші. Відомо, що височутливими сенсорами парів аміаку є р-n переходи на основі GaAs. Підняти газову чутливість таких структур можна за допомогою поверхневого легування сіркою. Метою роботи було з’ясування причини зменшення газової чутливості p-n- переходів на основі GaAs при збільшенні часу поверхневого легування. Для виконання поставленої мети проводилися дослідження морфології поверхні n-GaAs до та після поверхневого легування сіркою з різною тривалістю.uk104 фізика та астрономіявплив сульфідної обробки на характеристики поверхні GaAsособливості розміщення та роботи АСМ NT-206аналіз морфології сульфідованої поверхні n-GaAsDiplomas