Фастыковский, Павел ПетровичМогильницкий, А. А.Глауберман, Михаил АббовичМайко, Н. Н.Глауберман, Михайло АбовичGlauberman, Mykhailo A.Fastykovsky, Pavel P.Фастиковський, Павло Петрович2018-06-012018-06-012000Фотоэлектроника = Photoelectronicshttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/16438Исследовано влияние паров воды на емкость структур металл — туннельный окисел — кремний в широком диапазоне частот и напряжений. На основании экспериментальных результатов и анализа эквивалентных схем структур показано, что в общем случае увеличение измеряемой емкости структур при увеличении влажности воздуха связано с адсорбцией молекул воды тонким пористым окисным слоем, что, с одной стороны, приводит к увеличению диэлектрической проницаемости этого слоя, а с другой — к увеличению плотности поверхностных состояний границы раздела окисел-кремний. Превалирование в измеряемой емкости одного механизма влагочувствительности над другим зависит от режима электрического смещения на структуре.ruтуннельный окиселкремнийадсорбцияэлектрическое смещениеArticle