Михаленко, Владислав Володимирович2018-07-162018-07-162017Михаленко, В. В. Програмні засоби підтримки технології мікролітографії = Программные средства поддержки технологии микролитографии = Software support of the microlithography technology : дипломна робота бакалавра / В. В. Михаленко; наук. кер. В. Г. Пенко; ОНУ ім. І.І. Мечникова, ІМЕМ, Каф. математичного забезпечення комп'ютерних систем. – Одеса, 2017. – 75 с.https://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/17818Робота присвячена розробці програмних засобів підтримки технологічного процесу мікролітографії. Сучасний рівень мініатюризації при виготовленні інтегральних мікросхем вимагає дотримання проектної норми у в діапазоні 10-20 нм. Це зумовлює стрімкий ріст кількісних характеристик мікролітографічних проектів. Для їх створення потрібні все більш досконалі програмні засоби підтримки. Метою даної роботи є розробка перспективної програмної архітектури, яку можна було б використовувати для вирішення багатьох практичних задач, зокрема задачу візуалізації мікролітографічного проекту. В якості засобу для опису мікролітографічного проекту був використаний формат GDSII, який фактично є галузевим стандартом.uk6.050102 комп’ютерна інженеріятехнології мікролітографіїпрограмні засоби підтримкипроцес мікролітографіїоптична близькістькорегування дефектуQt та його особливостісистема контролю версій Gitформат GDSIIDiplomas