Лєнков, С. В.Лепіх, Ярослав ІллічВидолоб, В. В.Перегудов, Д. О.Lenkov, S. V.Lepikh, Yaroslav I.Vydolob, V. V.Peregudov, D. A.Ленков, С. В.Лепих, Ярослав ИльичВыдолоб, В. В.Перегудов, Д. А.2010-09-082010-09-082007Сенсорна електронiка i мiкросистемнi технологiї = Sensor Electronіcs and Mіcrosystem Technologіeshttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/218Проведено порівняльний аналіз оптичних фазометрів з ортогональною фільтрацією та дискретною обробкою сигналів. Наведені переваги та недоліки таких фазометрів при їх застосуванні для виміру оптичних параметрів напівпровідників. The comparative analysis optical phasometers with an orthogonal filtration and discrete processing of signals is carried out. Such phasometers advantages and defaults during their use for measurement semiconductors optical parameters are given. Проведен сравнительный анализ оптических фазометров с ортогональной фильтрацией и дискретной обработкой сигналов. Приведены преимущества и недостатки таких фазометров при их использовании для измерения оптических параметров полупроводников.лазероптичний фазометрортогональна фільтраціяlaseroptical phasometersоrthogonal filtrationлазероптический фазометрортогональная фильтрацияArticle