Філевська, Людмила МиколаївнаЧебаненко, Анатолій ПавловичКлочков, Максим ОлександровичГріневич, Віктор СергійовичСминтина, Валентин АндрійовичFilevska, Liudmila M.Chebanenko, Anatoliy P.Klochkov, Maksym O.Hrinevych, Viktor S.Smyntyna, Valentyn A.Филевская, Людмила НиколаевнаЧебаненко, Анатолий ПавловичКлочков, Максим АлександровичГриневич, Виктор СергеевичСмынтына, Валентин Андреевич2019-01-092019-01-092018Сенсорна електронiка i мiкросистемнi технологiї = Sensor Electronics and Microsystem Technologieshttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/20853Досліджені електрофізичні властивості нанорозмірних шарів SnO2, отриманих з використанням ПВА у якості структуруючої добавки, в присутності парів води та етанолу при кімнатній температурі. Встановлено майже десятикратне підвищення провідності досліджуваних шарів в присутності парів води і п’ятикратне в присутності парів етанолу порівняно з значенням у сухому повітрі, пов’язане з дисоціативною адсорбцією води і етанолу на їх поверхні. Встановлений аномальний характер температурної залежності темнового струму шарів діоксиду олова в присутності парів води в інтервалі температур 40–90 oC, пов’язаний з десорбційними процесами на поверхні. Отримані результати показують можливість використання досліджуваних шарів діоксиду олова для контролю вологи і етанолу при кімнатній температурі.Electrophysical properties of nanosized SnO2 layers obtained using PVA as a structural additive in the presence of water and ethanol vapor at room temperature have been investigated. It is established almost the tenfold increase of conductivity of investigated layers in the presence of water vapor and the five times one in the presence of ethanol vapors compared with its value in dry air which is caused by dissociative adsorption of water and ethanol on their surfaces. An abnormal nature of the dark current temperature dependence of tin dioxide layers in the presence of water vapor in the temperature range 40–90 oC is associated with desorption processes on the surface. The obtained results show the possibility of using the investigated layers of tin dioxide for a moisture and ethanol detection at room temperature.Исследованы электрофизические свойства наноразмерных слоев SnO2, полученных с использованием ПВА в качестве структурирующей добавки, в присутствии паров воды и этанола при комнатной температуре. Установлено почти десятикратное повышение проводимости исследуемых слоев в присутствии паров воды и пятикратное в присутствии паров этанола по сравнению со значением в сухом воздухе, связанные с дис- социативной адсорбцией воды и этанола на их поверхности. Установленный аномальный ха- рактер температурной зависимости темнового тока слоев диоксида олова в присутствии па- ров воды в интервале температур 40–90 oC обусловлен десорбционными процессами на по- верхности. Полученные результаты показывают возможность использования исследованных слоев диоксида олова для контроля влаги и этанола при комнатной температуре.ukдіоксид оловавологочутливістьетанолочутливістьtin dioxidesensitivity to humidity and to ethanolдиоксид оловавлагочувствительностьэтанолочувствительностьArticle