Гриневич, В. С.Смынтына, Валентин АндреевичСавин, С. Н.Филевская, Л. Н.Улуг, Б.Халук Туркдемир, М.Улуг, А.Ялткая, С.Гріневич, В. С.Сминтина, Валентин АндрійовичСавін, С. М.Філевська, Л. М.Улуг, Б.Халук Туркдемір, М.Улуг, А.Ялткая, С.Grinevich, V. S.Savin, S. N.Smyntyna, Valentyn A.Filevska, Liudmyla M.Ulug, B.Haluk, Turkdemir, M.Ulug, A.Yaltkaya, S.2011-10-132011-10-132011Сенсорна електронiка i мiкросистемнi технологiї = Sensor Electronics and Microsystemhttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/2125Сенсорна електронiка i мiкросистемнi технологiї = Sensor Electronics and Microsystem Technologies : наук.-техн. журнал. - Одеса : Астропринт - Т. 2(8), № 2, С. 69-75.В работе представлены результаты термогравиметрических исследований двух комплексов прекурсора двуокиси олова для чувствительных элементов сенсоров,позволившие установить и сопоставить основные этапы их термического разложения. Различия в процессах разложения комплексов обусловлены различиями в их составе, а именно, в наличии (в комплексе № 1) или отсутствии (в комплексе № 2) молекул координированной воды. При термическом разложении комплекса вода в его составе выполняет функцию его разрыхления, что позволяет получать пленки двуокиси олова с наноразмерными зернами.У роботі представлені результати термогравіметричних досліджень двох комплекс ів прекурсору двоокису олова для чутливих елементів сенсорів, що дозволили встановити й зіставити основні етапи їхнього розкладання. Розходження в процесах розкладання комплексів обумовлені розходженнями в їхньому складі, а саме, у наявності (у комплексі № 1) або відсутності (у комплексі № 2) молекул координованої води. При термічному розкладанн і комплексу вода в його складі виконує функцію його розпушення, що дозволяє одержувати плівки двоокису олова з нанорозмірними зернами.The results of thermogravimetric studies of two precursors’ complexes of tin dioxide used for sensitive elements of sensors permitted to establish and to compare the basic thermal decomposition stages. Differences in the decomposition processes of the complexes exist due to the differences of their structure, that is: presence (in the Complex 1) or absence (in the Complex 2) of a coordinated water molecules. At the thermal decomposition of the complex, presence of water helps to loosen the matter of complex and gives tin dioxide films with nanoscale grains.ruнаноразмерная двуокись оловатермогравиметриядихлордиацетилацетонат оловананорозмірний двоокис оловатермогравіметріядихлордиацетилацетонат оловаnanosized tin dioxidethermogravimetrydihlordiatsetilatsetonat tinArticle