Смынтына, Валентин АндреевичКулинич, О. А.Глауберман, Михайло АбовичЧемересюк, Г. Г.Яцунский, И. Р.Свиридова, О. В.Глауберман, Михаил АббовичGlauberman, Mykhailo A.2012-10-162012-10-162007Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв(УНКФН-3)https://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/2628Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв (3; 2007; Одеса) Тези доповiдей, 17-22 червня 2007 р / Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв (3; 2007; Одеса), НАН України , [та iн.] ; гол. ред.: Валентин Андрiйович Сминтина . – Одеса : Астропринт, 2007 .Изучить процессы дефектообразоваиия в кремнии при легировании и окислении невозможно не рассматривая поведение макродефектов при температурных воздействиях.Макродефекты в кремнии при температурных воздействиях могут служить источниками зарождения точечных и структурных дефектов,изменяющих время жизни неосновных носителей зарядов и время свободного пробега,что,в свою очередь,влияет на параметры кремниевые структур и готовых приборов.Исходя из этого целью данного изучения является исследование структурно-полиморфных изменений макродефектов наиболее встречающихся в кремнии,таких как дефекты слоистой неоднородности,дендриты и двойниковые ламели.ruArticle