Вплив режимів сульфідної обробки на характеристики поверхні n-GaAs

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorБурко, Ярослава Павлівна
dc.date.accessioned2022-02-08T07:21:47Z
dc.date.available2022-02-08T07:21:47Z
dc.date.issued2021
dc.description.abstractНапрямок нанотехнології з розробки мікро- та нано-електромеханічних систем, який стрімко розвивається останнім часом, вимагає кращих параметрів для характеристики геометрії і властивостей поверхні напівпровідників. При цілеспрямованому формуванні систем із заданими властивостями необхідно визначити важелі впливу і керування кількісним і фазовим складом, морфологією і рельєфом поверхні, які є найважливішими чинниками функціональності. Якість поверхні механічних та електронних виробів з точки зору її мікрогеометрії у багатьох випадках визначає їх надійність і довговічність при експлуатації. Метою цієї роботи є дослідження механізмів впливу сульфідної обробки на морфологію поверхні арсеніду, перевірка гіпотези щодо залежності шорсткості поверхні від напрямку вимірювання після можливої поверхневої реконструкції ґратки внаслідок обробки. У роботі розглянуто переваги та недоліки різних методів дослідження нанооб’єктів, зокрема розбір різних класів скануючої зондової мікроскопії, принцип роботи та характеристики атомно-силової мікроскопії. Наведені та детально пояснені параметри і причини виникнення поверхневих неоднорідностей різного масштабу. Проаналізовано можливості різних програм для аналізу виміряних значень параметрів, які дають інформацію про особливості морфології поверхні.uk_UA
dc.identifier.citationБурко, Я. П. Вплив режимів сульфідної обробки на характеристики поверхні n-GaAs : дипломна робота бакалавра. – Одеса, 2021. – 38 с.uk_UA
dc.identifier.urihttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/32463
dc.language.isoukuk_UA
dc.publisherОдеський національний університет імені І. І. Мечниковаuk_UA
dc.subject105 прикладна фізика та наноматеріалиuk_UA
dc.subjectпластина n-GaAsuk_UA
dc.subjectсульфідна обробкаuk_UA
dc.subjectустановка зондаuk_UA
dc.subjectGwyddionuk_UA
dc.titleВплив режимів сульфідної обробки на характеристики поверхні n-GaAsuk_UA
dc.title.alternativeEffect of sulphide treatment on the surface characteristics of n-GaAsuk_UA
dc.typeDiplomasuk_UA
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
105_Burko Yaroslava Pavlivna.doc
Розмір:
4.59 MB
Формат:
Microsoft Word
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити
Зібрання
Бакалаври МФІТ