Электронные свойства и адсорбционная чувствительность пористого кремния

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorВашпанов, Юрий Александрович
dc.contributor.authorСмынтына, Валентин Андреевич
dc.date.accessioned2012-10-16T11:13:24Z
dc.date.available2012-10-16T11:13:24Z
dc.date.issued2002
dc.descriptionТези доповiдей, 10-14 червня 2002 р / Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв (1; 2002; Одеса) – Одеса : Астропринт, 2002uk
dc.description.abstractВ докладе представлены результаты исследований электронных и газо-чувствительных свойств пористого кремния. Образцы пористого кремния (ПК) были получены методом анодного электрохимического травления разных марок кристаллического кремния в водном растворе фтористо-водородной кислоты.Использовали дополнительно ультразвуковую обработку материала.На поверхность ПК напыляли газо-прозрачные контакты щелевого типа из алюминия.uk
dc.identifier.citationУкраїнська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiвuk
dc.identifier.urihttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/2624
dc.language.isoruuk
dc.publisherАстропринтuk
dc.relation.ispartofseries;С.40-41
dc.titleЭлектронные свойства и адсорбционная чувствительность пористого кремнияuk
dc.typeArticleuk
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
40-41+.PDF
Розмір:
1.7 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити
Зібрання
Статті та доповіді ФМФІТ