Фото- и газочувствительные свойства пористого кремния
Вантажиться...
Дата
1996
Автори
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
ISSN
E-ISSN
Назва тому
Видавець
Одеський національний університет імені І. І. Мечникова
Анотація
Представлены данные изучения фото- и газочувствительных параметров образцов пористого кремния, полученных методом анодного электрохимического травления кристаллического кремния в электролите на основе фтористо-водородной кислоты. Выявлена фоточувствительность ряда структур Por-Si к видимой области спектра и чувствительность к адсорбции паров аммиака и воды. Обсуждается возможный физический механизм влияния адсорбции газов на электрические и фотоэлектрические параметры материала.
Опис
Ключові слова
пористый кремний, изучения фото- и газочувствительных параметров, фотоэлектрические параметры материала
Бібліографічний опис
Фотоэлектроника = Photoelectronics