Структурно - полиморфные изменения макродефектов в кремнии при температурном воздействии
dc.contributor.author | Смынтына, Валентин Андреевич | |
dc.contributor.author | Кулинич, О. А. | |
dc.contributor.author | Глауберман, Михайло Абович | |
dc.contributor.author | Чемересюк, Г. Г. | |
dc.contributor.author | Яцунский, И. Р. | |
dc.contributor.author | Свиридова, О. В. | |
dc.contributor.author | Глауберман, Михаил Аббович | |
dc.contributor.author | Glauberman, Mykhailo A. | |
dc.date.accessioned | 2012-10-16T12:11:07Z | |
dc.date.available | 2012-10-16T12:11:07Z | |
dc.date.issued | 2007 | |
dc.description | Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв (3; 2007; Одеса) Тези доповiдей, 17-22 червня 2007 р / Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв (3; 2007; Одеса), НАН України , [та iн.] ; гол. ред.: Валентин Андрiйович Сминтина . – Одеса : Астропринт, 2007 . | uk |
dc.description.abstract | Изучить процессы дефектообразоваиия в кремнии при легировании и окислении невозможно не рассматривая поведение макродефектов при температурных воздействиях.Макродефекты в кремнии при температурных воздействиях могут служить источниками зарождения точечных и структурных дефектов,изменяющих время жизни неосновных носителей зарядов и время свободного пробега,что,в свою очередь,влияет на параметры кремниевые структур и готовых приборов.Исходя из этого целью данного изучения является исследование структурно-полиморфных изменений макродефектов наиболее встречающихся в кремнии,таких как дефекты слоистой неоднородности,дендриты и двойниковые ламели. | uk |
dc.identifier.citation | Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв(УНКФН-3) | uk |
dc.identifier.uri | https://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/2628 | |
dc.language.iso | ru | uk |
dc.title | Структурно - полиморфные изменения макродефектов в кремнии при температурном воздействии | uk |
dc.type | Article | uk |
Файли
Контейнер файлів
1 - 1 з 1
Ліцензійна угода
1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 1.71 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: