СВОБОДНЫЙ ЗОНД ИЗ МОНОДИСПЕРСНЫХ СФЕРИЧЕСКИХ ЧАСТИЦ В КАЧЕСТВЕ ДАТЧИКА СОСТОЯНИЯ ПЛАЗМЫ

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКопыт, Н. Х.
dc.contributor.authorСеменов, К. И.
dc.contributor.authorКопыт, Н. Н.
dc.date.accessioned2013-02-18T08:36:09Z
dc.date.available2013-02-18T08:36:09Z
dc.date.issued2012
dc.description"Дисперсные системы",XXV междн.науч.конф. материалы,17-21 сентября 2012 г. - Одесса, 2012uk
dc.description.abstractДиагностика плазмы играет важную роль в процессе разработки и оптимизации плазменного технологического оборудования. Наиболее подходящим методом диагностики плазмы реакторов является метод электрических зондов. Его несомненными преимуществами являются: большое число одновременно измеряемых параметров (температура и концентрация электронов, концентрации положительных и отрицательных ионов, функция распределения электронов по энергиям, потенциал плазмы); возможность проведения автоматизированных измерений при относительно низкой стоимости аппаратуры и т.д. Анализ фундаментальных параметров плазмы, полученных в технологических условиях, позволяет оптимизировать источники плазмы на конкретные технологические применения.uk
dc.identifier.citation"Дисперсные системы" XXV междн.науч.конф.Материалы конференцииuk
dc.identifier.urihttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/3223
dc.language.isoruuk
dc.publisherОдесский национальный университете имени И. И. Мечниковаuk
dc.relation.ispartofseries;С.134-135
dc.subjectсвободный зондuk
dc.subjectдатчикиuk
dc.titleСВОБОДНЫЙ ЗОНД ИЗ МОНОДИСПЕРСНЫХ СФЕРИЧЕСКИХ ЧАСТИЦ В КАЧЕСТВЕ ДАТЧИКА СОСТОЯНИЯ ПЛАЗМЫuk
dc.typeArticleuk
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
134-135+.pdf
Розмір:
117.12 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити
Зібрання
Статті та доповіді ФМФІТ