About performance linearity of the environment gas humidity capacitive sensors based on silicon mos structures with a nanodimensional silicon oxide

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorFastykovsky, Pavel P.
dc.contributor.authorGlauberman, Mykhailo A.
dc.contributor.authorФастиковський, Павло Петрович
dc.contributor.authorГлауберман, Михайло Абович
dc.contributor.authorГлауберман, Михаил Аббович
dc.contributor.authorФастыковский, Павел Петрович
dc.date.accessioned2016-02-10T10:27:26Z
dc.date.available2016-02-10T10:27:26Z
dc.date.issued2015
dc.description.abstractThe purpose of this work is to establish the reason for the performance linearity of the environment gas humidity capacitive sensors, based on silicon MOS structures with a nanodimensional silicon oxide being in depletion or weak inversion modes.uk
dc.description.abstractМетою роботи є встановлення причини лінійності робочої характеристики ємнісних сенсорів вологості газових середовищ на основі кремнієвих МОН – структур з нанорозмірним оксидним шаром, що знаходяться у режимах збіднення або слабкої інверсії.uk
dc.identifier.citationСенсорна електронiка i мiкросистемнi технологiї = Sensor Electronics and Microsystem Technologiesuk
dc.identifier.urihttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/7984
dc.language.isoenuk
dc.publisherОдеський національний університет імені І. І. Мечниковаuk
dc.relation.ispartofseries;Т. 12, № 4.
dc.subjecthumidity sensoruk
dc.subjectperformanceuk
dc.subjectlinearityuk
dc.subjectcapacitanceuk
dc.subjectMOS structureuk
dc.subjectсенсор вологостіuk
dc.subjectробоча характеристикаuk
dc.subjectлінійністьuk
dc.subjectємністьuk
dc.subjectМОН – структураuk
dc.titleAbout performance linearity of the environment gas humidity capacitive sensors based on silicon mos structures with a nanodimensional silicon oxideuk
dc.title.alternativeПро лінійність робочої характеристики ємнісних сенсорів вологості газових середовищ на основі кремнієвих мон – структур з нанорозмірним оксидним шаромuk
dc.typeArticleuk
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
14-15.pdf
Розмір:
203.37 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити
Зібрання
Сенсорна електроніка і мікросистемні технології