Исследование влияния паров воды на электрофизические свойства структур металл — туннельный окисел — кремний
Вантажиться...
Дата
2000
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
ISSN
E-ISSN
Назва тому
Видавець
Одеський національний університет імені І. І. Мечникова
Анотація
Исследовано влияние паров воды на емкость структур металл — туннельный окисел
— кремний в широком диапазоне частот и напряжений. На основании экспериментальных
результатов и анализа эквивалентных схем структур показано, что в общем
случае увеличение измеряемой емкости структур при увеличении влажности
воздуха связано с адсорбцией молекул воды тонким пористым окисным слоем, что, с
одной стороны, приводит к увеличению диэлектрической проницаемости этого слоя,
а с другой — к увеличению плотности поверхностных состояний границы раздела окисел-кремний.
Превалирование в измеряемой емкости одного механизма влагочувствительности над другим зависит от режима электрического смещения на структуре.
Опис
Ключові слова
туннельный окисел, кремний, адсорбция, электрическое смещение
Бібліографічний опис
Фотоэлектроника = Photoelectronics